多線切割機作為全新概念的新型切割設備，從20世紀60年代提出多線切割的概念到今天趨於完善已經經曆了四十多年。限於當時技術水平和控製理念要用多線切割付諸於世的確會有相當大的難度，20世紀80年代中期可以使用的多線切割機問世。其中主要以機械結構為主，拉線張力控製賽用磁粉離合器，張力調節使用帶減速器的交流電機，還配有龐大的齒輪減速箱和鏈條齒輪傳輸機結構，工作台驅動依靠砝碼配重，電控主要是繼電器和時間繼電器。無論機構如何，但它畢竟是可以實用雛形多線切割機。此後1986-1987年是實驗型的；1988-1990年是第二代。以後兩三年都更新一代。今天市場上銷售的已經是第九代第十代多線切割機。

多線機切割晶片的彎曲度（bow）小，翹曲度（Warp）小，平行度（Tarp）好。總厚度公差小（TTV）小，片間切割損耗少，加工晶片表麵損傷層淺，粗糙度小，切片加工出片率高，生產效率高，投資回報呂高。

因此，應用多線切割機是發展規模化生產和提高生產效率的必然選擇，使用多線切割機加工各類晶片是必然趨勢，特別適用於太陽能光伏電池超薄機基片的批量加工。

進入21世紀技術進步和科技發展，現代多線切割機科技含量已與21世紀80年代不能同日而語，今天的多線切割機已經集成了現代製造技術、工藝技術、現代控製技術、現代傳感技術和新型材料，例如交流伺服電機及驅動係統、工業控製計算機、運動控製卡及總線係統、主軸油霧潤滑冷卻及間隙密封單元、恒定張力快速走線等。由於以上係統的擇優選用，使現代多線切割機適用於大直徑IC矽片光伏電池襯底超薄片，砷化镓、碳化矽、铌酸鋰、光學玻璃等多種硬脆材料的切片加工。